发表于 | 轮廓仪

使用ZeGage Plus 3D光学表面轮廓仪进行非接触式表面测量

ZYGO’s ZeGage Plus 是具有亚纳米精度的3D光学表面轮廓仪。它以ZeGage轮廓仪的功能为基础,具有更快的测量速度,更好的精度和更好的可测量表面范围,同时保持了其易用性,对振动不敏感和占地面积小。

ZeGage Plus光学轮廓仪可测量从超光滑到非常粗糙的各种表面,具有亚纳米级的精度和独立的视野。玻璃,陶瓷和金属等材料的表面光洁度可能包括打磨,珩磨,抛光,研磨和超抛光。

对于高速测量,ZeGage Plus的扫描速度是ZeGage的两倍,可提供更高的吞吐量和更快的生产计量数据时间。

与ZeGage分析器一样,Mx™交互式控制软件提供了简单而详细的可视化效果,以帮助用户控制其过程。

强大的性能

  • 出色的量具能力,具有亚纳米级的精度和定量的表面计量
  • 专有的非接触式测量技术对振动影响的灵敏度较低,从而消除了多种应用中对振动隔离平台的需求
  • 高分辨率百万像素图像传感器可在数秒内完成快速的面积测量,以实现出色的可视化效果和表面细节
  • 符合3D和2D标准,并符合ISO 25178的表面粗糙度参数
  • 集成的聚焦和自动聚焦辅助功能简化了零件设置并减少了操作员的可变性
  • 现场缝合和全自动测量序列可实现大面积的高分辨率检查(需要可选的电动零件台)

多功能性

  • 测量从超级光滑到粗糙(例如陡坡和大台阶)的各种表面材料和表面处理
  • 非接触式计量技术可防止零件损坏
  • 表面纹理,形状,台阶高度等的2D和3D轮廓分析
  • 随附的Mx软件为表面数据的分析,可视化和报告提供了详细的工具
  • 可选的视野和放大倍数,带有多种成像和系统选件
  • 基于区域的测量对零件放置不敏感

生产力与价值

  • 紧凑,耐振动的SureScan™技术使用户可以在任何地方轻松集成’s facility
  • 具有成本效益的性价比可与其他系统(如机械接触式测针仪)进行比较
  • 简化的操作导致较低的服务和培训成本
  • 非接触式方法意味着无需担心耗材更换成本
  • 测量不需要消耗品
  • 高输出,耐用的LED光源,可多年无故障运行

主要特征

ZeGage Plus的主要功能如下:

  • 与标准ZeGage相比,垂直扫描速度快2倍
  • 耐振动,用于过程控制和生产车间计量,几乎可以测量从超光滑到粗糙的所有表面
  • 与标准ZeGage相比,表面形貌可重复性提高20倍以上

Mx软件屏幕

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