发表于 | 光谱椭偏仪

带旋转补偿器的光谱椭圆仪  - SE-2000

的 Semilab提供的SE-2000是专有的模块化光学平台,配备了具有旋转补偿光学元件的椭圆偏振光谱仪。它可以对单层和多层样品以及基材进行非接触式和非破坏性光学测量,以实现单独的薄膜厚度和光学性能。

主要特征

的 main features of the SE-2000 include the following:

  • 的 SE-2000 system has a strong, flexible, and modular design that allows analysis of samples with simple single-layer thickness to more difficult applications like those combining scatterometry, ellipsometry, and polarimetry using the Mueller matrix.
  • 的 system has a small spot size and a 没有 vel individual arm angle selection.
  • 的 SE-2000 features an extensive spectral range varying from the Deep-UV (193 nm) to the Mid-IR (25 µm),以及可选的FTIR椭圆偏振仪探头,该探头专用于带有可见臂的同一测角仪上。
  • 的 SE-2000 can either be configured with the quick detection mode using detector array and spectrograph, with high-resolution mode using single-point detectors and a spectrometer, or with both modes integrated together in a single tool.
  • 的 SE-2000 is equipped with Semilab’包括可交换组件在内的新型智能电子产品,并通过新一代操作和分析软件(SAM / SEA)进行工作。
  • 的 system can be controlled using a Laptop or PC via LAN network, or by a new touch panel interface.

测量模式

以下列出了SE-2000的测量模式:

  • 用于光学功能和薄膜厚度的椭圆偏振光谱法,包括复杂的多层结构
  • 为透明基材提供透射椭圆偏振法
  • 提供各向异性材料的广义椭圆仪
  • 散射法与入射角和波长的关系
  • 原位测量模式,可在蚀刻或沉积过程中进行实时处理
  • 琼斯矩阵提供了简单的各向异性材料
  • 特别针对3D各向异性材料提供了Mueller矩阵(具有11或16个元素)以及散射法
  • 透射率和反射率与入射角和波长的关系
  • 孔隙率法—测量薄膜的孔隙率和孔径
  • 极化法

应用领域

的 SE-2000 can be used for the following applications:

  • 光伏发电—纳米结构电池,薄膜和硅太阳能电池,纳米点,透明导电氧化物,纳米线和CNT
  • 光子学—反射涂层,ARC,LED,III-V器件(ECL,EEL,VCSEL),溶胶-凝胶/多孔涂层,MEMS,光电器件:InP,GaN,AlGaN等
  • 半导体类—栅氧化层,低k,高k互连层,氮氧化物,光刻薄膜和外延层:多晶硅,SiC,SiGe,SOI和应变硅
  • 有机物—OPV,传感器,OTFT和OLED
  • 一般—铁电材料(PZT,BST,SBT),SOFC,燃料电池,3D材料,多孔电极,周期性结构和石墨烯
  • 平板显示器—IGZO,LTPS,OLED,TFT-LCD,电致变色层

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