PIMag ®6-D磁悬浮概述
该视频概述了 PIMag ®6维磁悬浮 由Physik Instrumente（PI）提供。 PIMag 的功能包括主动磁轨迹控制，被动移动平台，高刚度和纳米分辨率。该系统的运动范围也为100× 100 × 0.15 mm³。轨迹运动可以高达2 m / s的加速度进行2 速度高达100 mm / s，具有纳米精度。的标准偏差<在平移轴上为6 nm<旋转轴达到250 nrad。 PIMag 的分辨率为10 nm。
平台悬浮在定子中的六个平面线圈产生的磁场上，该磁场由6-D传感器主动控制。 Halbach阵列包括永磁体段，其磁化方向彼此倾斜90度°在阵列的方向's的纵轴。这使磁力线在一侧靠近在一起，从而增加了磁通密度。 6轴悬浮系统没有机械或空气轴承。
运行 – 2:09min