Optics 101

氙氟代准分子激光器 - 性质和应用

氟化物氟化物(XeF)准分子激光由氙气 - 一种惰性气体 - 和氟 - 一种卤素。氙是一种无色,无味,重,稳定的惰性气体,而氟是浅黄色,轻质气体,具有强烈的电解,这使得它极为反应。

氟化物氟化物excimer laser can be spontaneously stimulated to produce radiation. The xenon atom absorbs energy from the power source and reacts with fluorine gas to form a temporary complex.

该临时复合物能够刺激或自发发射,导致ExciLet激光器在电磁光谱的紫外区域中,波长为351nm。

该准分子激光器的独特特征是通过使用各种棱镜和光栅腔内布置,它可以转换成稍微可调的激光器。

需要在使用此激光器时进行安全预防措施,因为它在暴露于UV辐射时损坏了人眼。人类肉体还需要保护免受这种激光紫外线辐射的潜在致癌作用。

氙氟化物激光器主要在光刻中的应用。它们也用作激光线镜。

激光特性

激光特性
激光类型 气体
泵浦源 高压电放电
工作波长 351nm

应用程序

氙氟化物的主要应用是光刻法。光刻法用于生产多种微电子器件。氙氟激光器的一些其他应用如下:

  • 激光线镜子
  • 塑料的微机械,复合材料

参考

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