使用多通道检测器进行等离子体监控应用

典型的应用 多通道探测器 是血浆诊断,涉及污染物存在的分析和相对浓度。检查等离子体的基础气体的光谱,以确定对气体具有不具样的光谱线的存在。

终点监测分析等离子体,以确定是否存在被沉积在像半导体晶片上的基板上的不需要的物质,或者蚀刻。在正在进行的蚀刻/沉积过程中观察到单个波长的强度与时间。图1描绘了instaSpec的这种应用™ IV CCD Detector.

MS260I™成像光谱仪和InstaSpec™IV CCD,用于等离子体诊断

图1。 MS260I.™成像光谱仪和InstaSpec™IV CCD,用于等离子体诊断

等离子体监测实验设置

图1显示了用于大多数等离子体监测实验的典型设置。这里,瞄准光学器件从等离子体收集光。然后将收集的光集成到MS260i中™成像光谱仪。如果可以容易地访问等离子体,则简单的镜头就足够了,代替了视力光学器件,即位于光谱仪附近。需要选择与光谱仪的入口角相当的镜头以减少损耗。设置涉及使用-55°C TE冷却CCD用于最佳动态范围。

要考虑的事情

在等离子体监测应用中需要考虑以下内容:

发出噪声

集成可以在低水平的污染物存在下使用,以便于从等离子体背景收集它们的弱信号。信噪比改善的信号与集成次数的平方根近似比例。

动态范围

减去未污染的等离子体作为背景是检测等离子体的整体高背景内极低水平的污染物的有用方法。

仪器的变异

等离子体生成仪器的行为因系统而异。甚至可以在运行类似过程的重复系统中找到变化。因此,用户必须具有足够的关于其过程和设备的知识,以提高监控和反馈系统的性能。

光谱库

为了执行等离子体监测,建议使用参考光谱库,以便比较实际数据。这有助于确定未知的污染物,并区分显示相同光谱的两个物种。 奥伊尔仪器 没有库集成到其硬件或软件中。

关于oriel instruments.

奥伊尔仪器是一位纽波特公司品牌,成立于1969年,并迅速获得了令人兴奋的产品供应商,用于制作和测量光线。今天,奥里尔品牌代表领先的仪器,例如覆盖宽范围的光源,从UV到IR,脉冲或连续,低功耗。

oriel. 还提供单色器和光谱仪,以及柔性FT-IR光谱仪,这使得在许多行业中的用户可以轻松构建特定应用的仪器。奥里尔也是光伏领域的领导者,具有其优异模拟器,可以在几分钟内模拟太阳辐射的时间。奥里尔继续为世界各地的纽波特客户带来创新的产品和解决方案。

此信息已采购,审查和调整奥伊尔仪器提供的材料。

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