增强分辨率显微镜 - AcuityXR技术介绍

Acuityxr.™来自Bruker是一种创新的光学表面分析器测量能力。它是一种新颖的,申请专利,Bruker硬件和软件技术的组合,可以选择Contouggt的模型™非接触式,3D光学表面分析器(图1)超越光学衍射极限,具有前所未有的横向分辨率,传统光学显微镜技术不可能(图2)。

Bruker Contourgt.

图1。 Bruker Contourgt.

相同的3D功能,没有Acualxr

图2。 相同的3D功能,没有Acualxr

AcuityXR的主要益处

断开光学衍射限制改善了缺陷,划痕和表面纹理的清晰度,清晰度和定义。它还提供以下优点:

  • 更高的像素密度
  • 更广泛的视野
  • 纳米级结构上的尺寸可重复性提高了5倍
  • 提供‘true’通过减少光学效应来窄特征的尺寸
  • 解决宽度为130nm的特征 - 比传统系统更高的分辨率近3倍

无与伦比的干涉能力

Bruker提供AcuityXR作为选择congouggt的可选功能™非接触式,3D光学表面分析器。

Bruker Contouggt Systems和AcuityXR的组合与专利的高清垂直扫描干涉法(HDVSI)和增强的相移干涉测量(PSI)测量模式能够解决宽度为130nm的特征,这是光学显微镜中的前所未有的分辨率和近三倍高于未使用该技术的系统。

此外,AcueyXR便于改进的横向分辨率,没有降低的视野,该视野可以伴随通过传统方法实现的可比倍率。

AcuityXR使ContougGT系统能够在非常高的放大率下解决和量化样本区域,减少或没有‘stitched’视野 - 查看和显着提高易用性。

提高了量具性能

使用独特算法和专利申请专利迭代技术,AcuityXR耦合与Congouggt Metrology硬件的反馈系统地降低了系统噪音并降低了由于最终估计的表面高度的衍射引起的模糊效果。

这通过5倍提高了Nansocale结构上的尺寸可重复性,从而提供了真正的计量效益以及解决非常精细特征的能力(图3)。

Acuityxr. capability helps resolve exceptionally fine features.

图3。 Acuityxr. capability helps resolve exceptionally fine features.

Acueyxr差异

使用AcuityXR,Contouggt用户可以实现更好的清晰度,清晰度和缺陷和划痕的定义,并且可以更详细地解析表面纹理。

另外,来自AcueyXR的较高像素的密度便于解析纳米级特征(图4),其不能使用传统的共焦或干涉显微镜方法来解决。

Bruker在Contourgt-K1,-X3和-X8型号中提供AcuityXR作为可选功能。

相同的2D功能,没有Acualxr

图4。 相同的2D功能,没有Acualxr

此信息已采购,审查和调整Bruker纳米表面提供的材料。

有关此来源的更多信息,请访问 布鲁克纳米表面。

引用

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    布鲁克纳米表面。(2021, January 19). 增强分辨率显微镜 - AcuityXR技术介绍. AZoOptics. Retrieved on May 21, 2021 from //www.selec-iat.com/Article.aspx?ArticleID=939.

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    布鲁克纳米表面。2021. 增强分辨率显微镜 - AcuityXR技术介绍. AZoOptics, viewed 21 May 2021, //www.selec-iat.com/Article.aspx?ArticleID=939.

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