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来自连贯的新脉冲能量传感器

来自Cherentent,Inc。的新系列脉冲能量传感器专门针对在193nm工作的ARF激光器和248nm处的KRF激光器使用。

 这些准分子激光Energymax系列传感器具有高精度和大型有源区域,并利用一种新颖的涂层,可提供卓越的长期损坏阻力。 它们可以从50执行脉冲能量测量µJ到250 MJ,并以重复率从单次拍摄到400 Hz。 这些传感器与连贯的3Sigma,FieldMaxii-Top,FieldMaxii-P,EPM1000和EPM2000米兼容。

准分子激光Energymax系列包括四种单独的产品。 这些是25毫米,直径50毫米的传感器,特别是在193nm或248nm处特别校准。 板载传感器提供自动温度补偿,并且内置光谱补偿也能够在其他波长上进行定量操作。 两个传感器都接受可选的散热器,这可以通过用户容易地附加到最大能量或平均功率范围。 具体地,这些散热器允许25毫米准分子激光传感器使用高达18倍的平均功率,50毫米传感器,高达43 W的平均功率(均为193nm)。

http://www.coherent.com/

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