新的液体镜片可以彻底改变半导体行业

关于潜力属性的新数据"liquid lenses"由国家标准和技术研究所(NIST)编制,可以帮助半导体行业继续在电脑芯片上缩小特色尺寸。

在2006年3月10日发布的应用光学问题上发表的论文中,NIST研究人员提出了新测量的有机溶剂和无机溶液的关键性质,其在浸入光刻中可能有用。三年前的一个想法不仅仅是一个想法,沉浸式光刻已经是商业化的,部分化到以前公布的NIST数据。该技术使用液体锐化所用模式的焦点"printing"半导体电路,就像眼睛一样使用液体中心来帮助在视网膜上形成图像。原型商业系统使用最后镜头元件和电路之间的水'S硅晶片底座,将193纳米波长聚焦到可能45纳米的电路特征尺寸。

用于浸入光刻的液体必须具有高折射率 - 越高越好 - 这影响光线弯曲的斜面越突出。 NIST之前发布了水的折射率数据,比空气的折射率近50%。"当我们两年前开始这项工作时,你可以'甚至在水上找到足够的数据,"Simon Kaplan说,新论文的主要作者。

有几家公司已经提出了专有的高折射率浸入液体。相比之下,NIST的工作是一系列流体的关键光学性质的全公开报告。该调查表明了有用的趋势,例如折射率随分子大小增加的事实,并且包括关于温度对折射率的影响的数据,这对于在印刷过程中保持急剧焦点至关重要。数据可以帮助其他研究人员识别有用的液体或校准自己的测量。

http://www.nist.gov

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