发表于 | 薄膜表征设备

用于膜厚测量的分光椭圆率仪Angstom Sun Technologies的SE200BA

SRM100膜厚图测量系统可以测量高达300x300mm的样品的膜厚和折射率。

特征

SRM100膜厚图测量系统的功能包括

  • 易于使用基于Windows的软件进行设置和操作
  • 各种类型的几何基板,最大直径为300x300mm或300mm
  • 各种类型的映射模式,例如线性,极坐标,正方形或任意坐标
  • 先进的光学器件和坚固的设计可实现最佳系统性能
  • 基于阵列的探测器系统可确保快速测量
  • 贴图膜厚度和折射率高达5层
  • 系统附带全面的光学常数数据库和库
  • 包括常用食谱
  • 先进的TFProbe软件允许用户为每张胶片使用NK表,色散或有效介质近似值(EMA)。
  • 可以升级到具有模式识别功能的MSP(显微分光光度计)制图系统,或者升级为用于在图案化或特征结构上进行制图的大光点(使用Zonerage模型)
  • 适用于许多不同类型,厚度不同的基材
  • 2D和3D输出图形以及用户友好的数据管理界面以及统计结果

应用领域

SRM100膜厚图测量系统适用于:

  • 半导体制造(PR,氧化物,氮化物..)
  • 液晶显示器(ITO,PR,单元间隙…..)
  • 生物膜和材料
  • 光学涂料,TiO2二氧化硅2Ta2O5…..
  • 半导体化合物
  • MEMS / MOEMS中的功能膜
  • 非晶,纳米和晶体硅

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