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超低型材超声波电机M-660旋转阶段从PI

M-660 是市场中最低的轮廓旋转桌之一,并通过高性能模型提供了超过88倍本文的位置分辨率。

M-660阶段的速度可以增加到720度/秒。和位置可以将下降到4µrad(8个arcsec)。其自夹紧的陶瓷驱动器具有卓越的稳定性,休息时没有能量消耗,没有发热。直接耦合的精密光学编码器使得可自行滞后,无间隙的无反馈到伺服控制器。

紧凑的设计具有减少的惯性和质量,提供高精度的双向位置和速度控制,也是高速运动轮廓。 M-660基于新的U-164压电电动机,并超越了传统伺服电机直接驱动器和齿轮驱动机构的稳定性,加速度和稳定速度。创新的电机驱动器也由Leica Geosystems AG选择’S在最新一代测量的测量仪器的测量仪器,因为当移动测量光学器件时,它可以提供显着更高的速度,更短的定位时间和极高的定位精度。

控制器/软件支持

新型压电电机控制器可以利用超声陶瓷电机的特定运动特性。包括稳固的软件和驱动程序包和用于无缝集成的USB接口。

应用程序,特征& Advantages

M-660阶段的应用,特征和优点如下:

  • M-660的应用是半导体/测试设备,计量和光学仪器
  • 非常低的外形 - 轻松集成:仅15毫米(0.6”)
  • 4 µrad resolution
  • 直接计量线性编码器
  • 最大限度。速度720.°/ s,无限的旅行范围
  • 自锁陶瓷直接驱动:节能&高位稳定性
  • Piline Drive:非磁性,真空兼容的工作原理
  • 具有可用线性级的紧凑组合

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