HB-LED EPIWAFERS的电致发光测试系统 - 来自Bruker的Lumimap

Lumimap电致发光系统在一个简单的直观的测试环境中集成了外延HB-LED晶片的光谱和电气测试,提供了没有任何晶片准备的即时数据。

Lumimap使用非破坏性的触摸探头来通过晶片发送受控电流。该电流激发活性GaN层,导致它发光。

专有的新计量系统的专利待处理特征包括创新的晶圆边缘接触解决方案,耐用的导电探头和用于精确和可重复的正向电压(VF)测量的先进的IV曲线建模。

主要特征

Lumimap系统的关键特征是:

  • 精确且始终如一地衡量前进和反向IV特征
  • 表征电流诱导的波长,光谱强度和光谱宽度
  • 通过申请专利探头设计和边缘触点提供长期VF精度和可重复性
  • 使用先进的IV模型实现与设备级测量的强烈相关性
  • 从天到几分钟缩短收购关键数据
  • 提供关于MOCVD工艺质量的即时反馈,无需晶片准备
  • 以秒为单位提供无损多点检查

 

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