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The TMC STACIS®III先进的主动振动消除系统

TMC. ‘s 斯蒂西® III 是一种复杂的主动振动消除系统,使用最先进的压电致动器,复杂的惯性振动传感器和先进的控制算法。系统通过恒定测量实时取消振动,然后通过压电致动器的扩展和收缩来滤除楼层运动。

Stacis最初开发出在复杂的半导体工厂中分开计量,精密微光刻和检查设备,但现在它已成为嘈杂环境高度敏感仪器的行业标准。控制系统还具有DC-2020,一种新的改进的数字控制器。此外,它还包括一个新的双核处理器,以及前面板上的以太网和USB串行端口,为用户提供现代,易于使用的图形用户界面(GUI)。

Stacis不具有空气隔振系统的局限性,因为它比空气隔离器相对静止。的缺席“soft”暂停是此先进系统的另一个关键特征。 Stacis与主动空气系统不同,可以放置在具有集成有源空气隔离系统的工具下方。这种方法可以全面优化系统。

采用独家连续设计和专有的高力压电技术,Stacis® III 具有0.6Hz至150Hz的广泛主动带宽,1-3Hz处的前所未有的振动消除。

斯蒂西 has been deployed successfully across the globe. It is suitable for instruments that are sensitive to vibrations. STACIS® system on “risers”在定制TMC安静岛下部署时® Subfloor Platform可以在36中支持eBeam光刻工具” tall raised floor.

特点和优惠

Stacis的主要特征® III 压电主动振动消除系统如下:

  • 6自由度的活性硬安装设计,无软空气悬架
  • 提高吞吐量,质量和产量
  • 利用stacis.® 通过压电执行器取消振动的技术
  • 新的,改进的DC-2020数字控制器提供用户友好的GUI
  • 坚固控制系统消除了预定重新调整的需求
  • 使用点解决方案可与所有内部工具隔振设备一起使用
  • 符合刀具振动标准,随着时间的推移而达到振动水平
  • 允许较旧的和噪声楼层容纳高级工具
  • 数字控制器与基于PC的GUI
  • 振动隔离从0.6Hz开始,在1Hz处隔离40%至70%
  • 活动带宽,0.6Hz至150Hz
  • 在2Hz和更高,垂直和水平上提供大于90%的隔离
  • 降低Fab楼层建筑费用,并可以在更高振动环境中安装工具
  • 可以在晶圆厂的不同地板高度和子地板几何形状中使用
  • RoHS兼容版本也可用
  • 许多工具制造商推荐

应用程序

斯泰西 ® III 压电有源振动消除系统用于以下应用中:

  • 失败分析实验室
  • 半导体工厂
  • 纳米制作设施
  • 纳米技术研究
  • 材料研究

规格

Stacis的规格®III系统在下表中给出:

性能规格
积极的自由度 6
活跃带宽 0.6到150 Hz
自然频率 被动弹性体。 18 Hz.
有效的主动谐振频率:0.5 Hz
在1.0 Hz处隔离 40% - 70%
在2.0 Hz及以上隔离 90%或更好
10磅(4.5千克)步进输入(10:1减少)后稳定时间 0.3秒
内部噪音 <0.1 nm RMS
每隔离器操作负载范围(所需的不同无源安装)隔离器过载安全系数 400 - 4,500磅
(182 - 2,045 kg)
>2:1
隔离器数量 3或4典型
刚度(1,000磅/ 454千克质量)(典型的中间容量隔离器) 40,000磅/英寸。
(73 x106 Wm)
发射磁场 <0.02微型景观宽带RMS

下表提供了隔离器尺寸,环境和公用设施要求:

隔离器尺寸,环境&公用事业要求
隔离器尺寸 11.75英寸(w)x 12.5英寸(d)x 10.8英寸(h)
(300 x 320 x 275 mm)
隔离器重量 75磅(34千克
控制器尺寸 19英寸(w)x 8.5英寸(d)x 1.75英寸(h)
(483 x 381 x 44 mm)
温度。,操作 50° to -F90°F (10 to 32°C)
温度。,存储 -40° to 255°F (-40 to 125°C)
湿度,经营 30-60%
需要力量 100,120,230或240伏特; 50/60 Hz;<600瓦,CE符合要求
地板位移 <480 µ in. (12 µm) below 10 Hz
选项:TMC层压,不锈钢平台,框架,"risers,"调平器件,地震限制和终身活动

DC-2020控制器的关键规格总结在下表中:

DC -2020控制器规格
   
物理尺寸 1.75" (45 mm) H x 19' (483 mm) W x 8.5" (216 mm) D
连接架可安装可选支架
重量 6.3 LB.(2.9千克)
处理器 双核处理器150/75 MHz
采样率 10 KHz
模拟输出 16频道
模拟输入 16频道
状态灯 单个LED
前面板港口 串行USB 2.0.
Serial Micro USB
Ethernet RJ-45
2 BNC connectors
后面板港口 以太网RJ-45
Serial USB 2.0
RS -232 DB-9传统串口(与Stacis 2100兼容)
用户界面 超级终端上的字符菜单
在Windows的PC上扩展GUI
嵌入式以太网GUI控制页面

Stacis III系统的性能

下图显示了Stacis的性能益处® III system:

TMC. Stacis.®III先进的主动振动消除系统

斯蒂西®III(压电主动振动消除系统)
斯蒂西®在定制设计的TMC安静岛上安装的“立管”系统®Subloor平台支持36英寸高凸起地板中的eBeam光刻工具。
Stacis®系统,采用非铁磁,高度阻尼,铝平台,为Bruker Biospin 600MHz NMR光谱仪提供第二级的振动隔离阶段。照片由Bruker Biospin和Memorial Sloan Kettering Cancer Center提供。
DC-2020和PC差别图形用户界面
Stacis®在加利福尼亚理工学院,支持原型Ligo干涉仪的结束室。这些是有史以来最精确的仪器 - 能够测量距离小于10-18米。

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