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冷冻机一体化低温硅分析系统

低温硅分析系统 (Cryosas)来自Bruker Optics是一个用于低温的一体化系统(<15K)硅的杂质分析。低温是为了处理工业环境中的操作。

冷冻机结合了布鲁克'S高性能FTIR光谱仪,具有不需要任何液氦的集成,闭环冷却方法。所有冷冻组件都是复杂的,并利用良好的技术来实现挑战性硅生产环境的困难分析。

冷冻机可以在高水平的自动化下操作,这包括准确报告分析结果。

特征

高灵敏度: 低温将浅杂质(例如硼和磷)符合ASTM / SEMI MF1630标准,将浅杂质(例如硼和磷)降至低PPTA水平。此外,它同时根据ASTM /半MF1391标准同时分析到低PPBA水平的氧气和碳。

碳的低温测量结果(见上文)以及低温下的硼和磷(见下文)(〜12 k)。

碳的低温测量结果(见上文)以及低温下的硼和磷(见下文)(〜12 k)。

碳的低温测量结果(见上文)以及低温下的硼和磷(见下文)(〜12 k)。

闭环低温制冷系统: 不需要昂贵的液体冷冻剂。用于样品室和探测器冷却的一个非常可靠的闭环冷冻冷却系统。封闭的循环系统可以节省€与液氦冷却的制冷系统相比,每年50,000次运营成本。

冷冻温度样品隔室,采用自动化9位置样品架。

冷冻温度样品隔室,采用自动化9位置样品架。

Cryosas主软件屏幕显示当前加载的样本和所选的分析方法。

Cryosas主软件屏幕显示当前加载的样本和所选的分析方法。

不锈钢样品室设计: 轻松的样品访问。经过验证的样品室设计,具有固定光学和自动样品头。样品室’S的大型内径允许易于样品支架。

干式泵和涡轮泵: 简单清洁的真空系统操作通过涡轮泵泵和干式泵快速且可靠地抽空。

坚固,精密的步进电机架用九个位置样品架: 连接到样品支架的坚固的翻译阶段能够进行多个样品分析。高扭矩电机和固体翻译机构提供精确的样品索引和长时间的可靠功能。可以容易地安装和移除样品,并且样品保持器可以很容易地附着在样品室中。样品架的铜设计的金涂层可确保温度均匀。

使用方便

低温是工业环境中的优化手柄操作。 PLC控制所有真空和制冷装置。冷却并开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是真空专家或光谱专家。

专用的Cryosas软件旨在满足工业质量控制的需求。使用简单,可以通过触摸屏操作。用户只需选择首选分析技术,输入样本数据,然后单击“开始”按钮。然后,低温将自动降低样本,开始红外测量,评估结果,并准备分析报告。

规格

光谱范围:1500– 280 cm-1 优化检测

  • 第三组和V浅杂质 根据ASTM / SEMI MF1630的单晶SI。对于厚度约为3mm的楔形样品,可以实现以下检测限制:
    • 10 ppta磷
    • 30 PPTA硼
  • 替代碳 根据ASTM / SEMI MF1391。该技术需要碳自由FZ参考样品,其厚度和表面性质可与样品样品相当。对于厚度约为3mm的楔形样品,可以检测到低至20ppba的碳浓度低至20 ppba。

典型的低温分析报告包括所有相关信息和结果。

典型的低温分析报告包括所有相关信息和结果。

 

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