发表于 | 光学计量设备

Multiple Surface Testing with 齐戈’s Verifire MST

Verifire™ZYGO的MST干涉仪系统专为多重表面测试而设计,该系统提供了无与伦比的结果和测量能力。它从经典的干涉仪应用开始;所有这些应用都测量了两个表面(两个表面的腔)之间的波前变化。

但是,在测量未镀膜的平行板时,它会提供两层干涉图(三面腔),这只会混淆标准相移干涉术算法。

ZYGO通过使用相移技术解决了这个问题,该公司’s patented Fourier Transform Phase Shifting Interferometry (FTPSI). Verifire™MST可以测量两个,三个甚至四个表面的空腔。它显示MetroPro中的所有表面,或仅显示感兴趣的表面® 软件。 FTPSI用于自然地抑制伪像,从而消除了对扩展源的需求。

主要特征:

的主要特点 Verifire™MST干涉仪系统 如下面所述:

  • 大大简化了同质计量
  • 能够同时测量两个表面,三个表面甚至四个表面的腔
  • 测量光学厚度变化,正面图和背面近似值

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