发表于 | 光学与光子学

PI混合阶段概述

该视频显示了 物理仪器(PI)’s Hybrid Stage。 PI提供了独特的混合概念,包括母体位置测量和闭环控制。一些关键功能包括同时控制压电挠曲驱动器和DC伺服/滚珠丝杠驱动器,纳米范围内的可重复性,毫秒级的纳米精度建立​​时间,高恒定速度以及在最小能量要求/热量下的高驱动力和保持力耗散。

混合平台主要适用于需要高精度以进行测量和返回位置,或者需要表面检查和计量以精确地达到纳米目标位置的应用。

运行时间-0:47min

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